MEMS加速度センサー

Geo-Stickでは、MEMS加速度センサーを用いて加速度を計測しながら記録しています。MEMSとは、Micro Electro Mechanical Systems の略称で、直訳すると「微小電気機械システム」となります。中でもMEMS加速度センサーはゲーム機やスマートフォン、エアバッグなどで多用されており、現代では欠かすことができないセンサーとなっています。MEMSに関しては、東京大学の年吉先生のWebページにわかりやすい解説があります。また、MEMS加速度センサーの仕組みについてはWikipediaの総合的な解説があります。是非一度ご覧ください。

http://toshi.iis.u-tokyo.ac.jp/toshilab/?What%20is%20MEMS%3F%2FIntroduction

https://ja.wikipedia.org/wiki/%E5%8A%A0%E9%80%9F%E5%BA%A6%E8%A8%88

Geo-Stickに搭載されているMEMS加速度センサーは静電容量型で、周辺回路との組み合わせで±2Gから±16Gの範囲を16bitの分解能で計測します。理論的には、±2G の計測範囲で0.0006Gの分解能を持つのですが、ノイズを考慮すれば0.001～0.003G程度の分解能と考えています。地震時の振動計測ではこの分解能で十分です。詳しくはこちらをご覧ください。